PS180 HANBELL 漢鐘干式螺旋真空泵的詳細介紹

真空泵浦 (Vacuum Pump)也可寫為真空幫浦或是真空泵浦。漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子，在轉子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑，因而無油氣回漏污染的問題。透過線形良好的密封效果，壓力可達7.5 × 10-3 Torr。

產品型號：PS180

更新時間：2025-06-13

廠商性質：經銷商

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產品介紹

漢鐘PS干式螺桿真空泵，廣泛應用于
·面板TFT-LCD,Touch Panel
·太陽能Solar
·冶金系統(tǒng)Metallurgical System
·鍍膜Coating
·電漿制程sma processes
·干燥處理Drying Process
·制程氣體抽取Degassing
·生技/制藥Biotech/Pharmaceutical
·化工產業(yè)Chemical Industry
漢鐘各種型號：PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/
PD120/PD300/PD400/PD650/PD800
主要特點：
排氣路徑短，減少反應物沉積
干式螺旋真空泵相較于其他形式的真空泵，因氣體于泵浦內的傳輸路徑短，不易產生反應物沉積的現象。
線形密封性佳，泵浦性能優(yōu)
轉子密封線形，轉子密封性佳，轉子能以較大的咽合間隙達到的抽氣效果，由于咽合間隙較大，泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死，轉子也較不易因磨耗而需更換。
結構簡單，故障率低，維修容易
螺旋式真空泵因只需利用一對轉子互相咽合達到密封效果，結構上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設計，降低轉子與隔板沉積卡死的風險。且因其結構單純，拆解維修也較容易，因此能縮短維修時程降低維修費用。
微電腦操作，遠端監(jiān)控，保護周全