主要特點(diǎn)：

  排氣路徑短，減少反應(yīng)物沉積

干式螺旋真空泵相較于其他形式的真空泵，因氣體于泵浦內(nèi)的傳輸路徑短，不易產(chǎn)生反應(yīng)物沉積的現(xiàn)象。

  線形密封性佳，泵浦性能優(yōu)

轉(zhuǎn)子密封線形，轉(zhuǎn)子密封性佳，轉(zhuǎn)子能以較大的咽合間隙達(dá)到更快的抽氣效果，由于咽合間隙較大，泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死，轉(zhuǎn)子也較不易因磨耗而需更換。

高壓段抽速快,運(yùn)轉(zhuǎn)功率低,噪音低。

可依制程/環(huán)境需求選用水冷(防爆)或氣冷(防爆)馬達(dá)。氣冷馬達(dá)機(jī)型可搭配自循環(huán)冷卻系統(tǒng),能使用在無(wú)冷卻水系統(tǒng)的環(huán)境。

  結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，故障率低，維修容易

螺旋式真空泵因只需利用一對(duì)轉(zhuǎn)子互相咽合達(dá)到密封效果，結(jié)構(gòu)上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設(shè)計(jì)，降低轉(zhuǎn)子與隔板沉積卡死的風(fēng)險(xiǎn)。且因其結(jié)構(gòu)單純，拆解維修也較容易，因此能縮短維修時(shí)程，降低維修費(fèi)用。

  微電腦操作，遠(yuǎn)端監(jiān)控，保護(hù)周全

微電腦操控器提供真空泵浦簡(jiǎn)易的操作方式并能顯示泵浦完整的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，方便使用者對(duì)泵浦應(yīng)用狀況進(jìn)行調(diào)整，在泵浦產(chǎn)生問(wèn)題前進(jìn)行預(yù)防保養(yǎng),遠(yuǎn)端監(jiān)控系統(tǒng)能提供使用者方便的監(jiān)控工具，使用者不需到現(xiàn)場(chǎng)即能查詢泵浦之運(yùn)轉(zhuǎn)狀況。